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鉴定充分肯定了公司的技术研发、制造工艺以及检测能力，公司在科技部02专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”——《磁悬浮分子泵系列产品开发与产业化》重大专项研制成果基础上，成功研制新一代智能化、一体化的磁悬浮分子泵。经过质询和讨论，鉴定很终鉴定意见为：公司研制的磁悬浮分子泵系列产品为国内首台（套），具有自主知识产权，主要性能指标达到水平，取得了显著的经济及社会效益，建议进一步推广应用。

作为中国真空技术者，公司始终以“创新科学仪器，发展企业”为使命，以电子光学和真空技术，打造科学仪器设备及装备制造国家队，在“十四五”规划的新征程，立足新发展阶段、坚持新发展理念、构建新发展格局，为强化国家战略科技力量、实现科技自立自强做出新的贡献。

操作注意事项不能在前级泵工作时（前级管道接通）和真空室处于真空状态时将涡轮分子泵停掉，否则将会使油蒸汽迅速从前级管路返流到泵的清洁端。分子泵系统在停机充干燥气体前，一定要先将分子泵冷却水关闭，且要从泵的高真空端充气。决不能从泵的前级管路进行充气。选择抽气系统前级泵的大小时，应使涡轮分子泵的前级保持在分子流状态下。不能让涡轮分子泵在低于额定工作转速下运转。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统

1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。

2.涡轮分子泵真空度要求:真空度

3.样品尺寸:6英寸

4.基片旋转,加热温度：750℃

5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式

真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400

接口:DN100CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80

接口:DN63CF-F

极限真空:

氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040

口径:G1/4”

极限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>

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除了可以承受更大的气体流量，谱拓系列分子泵还拥有其他TwissTorr分子泵除高压缩比之外的所有特点：

先进的连接选项（RS232、NFC、蓝牙等），可以通过A-Plus软件连接电脑或者通过VacuumLinkAPP用手机进行无线操控

AFS悬浮轴承技术，抗震性好，噪音低

免维护轴承，零运行成本

无油运行，可确保真空系统洁净

体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成

防辐射和防磁场设计，无嵌入式电子设备，可在强磁场和辐射环境下运行

低电磁辐射，确保不会干扰工艺制程

我们此前曾发布过几篇文章，讲到使用真空产品如何让企业节约成本、尝到甜头（详情请点击：这里）。今天，我们再给大家介绍一个在节能灯制作中应用分子泵节约成本的案例。

为什么要把替换为分子泵机组？在制造节能灯的企业单位，有相当一部分都采用圆排机自动线，生产，产品质量一致性好。

但是，圆排机一般配置均采用直联式真空泵和谱拓真空泵作为机组，这样便带来了新的问题：①耗电量高；②噪音大；③占用面积大。因此，各照明设备企业和照明生产企业都积极寻找新工艺新方法来进行技改，以求改善这些状况。在这个过程中，公司与上海涌真机械有限公司不谋而合，并与上海正贝照明一起达成共识，用分子泵机组来替代。

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